한국원자력연구원 양성자과학연구단은 100 MeV 양성자가속기 뿐만 아니라 나노,자성,에너지 및 생체 소재등의 다양한 연구를 지원하기 위한 저에너지 이온빔 가속기들을 운영하고 있다. 이온빔 장치는 조사하고자 하는 원소를 이온화하여 전기장을 통해 하전 입자를 가속시켜 물질 표면에 입자를 주입하는 장치이다. 양성자가속기와 크기는 다르지만 하전 입자를 가속한다는 점에서는 큰 차이가 없는 장치이다. 이런 이온빔 장치는 특정 이온을 특정 깊이에 주입할 수 있어 일상생활에서 많이 쓰이는 반도체 제조에 가장 많이 활용되어지고 있다. 하지만 이런 장치는 일반 연구자들의 접근이 쉽지 않기에 본 연구단에서 연구자와 산업체 지원을 위한 기체 이온빔 장치와 금속 이온빔 장치를 운영하여 다양한 연구를 지원하고 있다. 본 발표에서는 이 두 장치의 기본적이 작동 원리를 간단히 알아보고, 이 장비를 활용하여 어떤 다양한 연구들을 진행하는지에 대해 간략히 알아본다.
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Host: Prof. Hongjoo Kim