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박막의 물성을 분석하는 방법에는 전지적 신호를 이용한 방법과 광학을 이용한 분광학 분석법이 대표적으로 이루어지고 있다. 그러나 최근에 나노 영역 및 깊이 방향에 대한 물성 연구에 대한 관심이 높아짐에 따라서 나노크기의 tip을 이용한 나노트라이볼로지 분석법에 대한 관심이 높아지고 있다. 나노트라이볼로지는 나노크기의 tip을 이용하여 시료 표면을 직접적인 방법으로 분석하여 시료의 나노 영역에 대한 형상, 탄성, 강도, 마찰력 등의 정보를 제공하며, tip의 전기적 신호를 부과하여 시료 표면의 국부적인 potential, electric current를 측정하게 된다. 또한 최근에는 tip을 이용하여 직접적인 소자 제작에도 응용하는 시도가 보고되고 있다. 본 발표에서는 나노트라이볼로지의 대표적인 장치인 Nano-Indenter system과 SPM(Scanning Probe Microscopy)에 대하여 간단한 원리를 소개하고 실제 분석에 적용되고 있는 예를 통하여 나노트라이볼로지의 가치를 확인하고자 한다.