(동문초청 취업/진로 멘토링) 광학현미경으로 볼 수 없는 나노형상을 빛으로 측정할 수 있을까?

by Dr 용재 조 (KRISS, 한국표준과학연구원)

Tuesday May 12, 2015, 4:30 PM → 5:30 PM Asia/Seoul

206호 (제1과학관)

광학현미경은 우리가 볼 수 없었던 마이크로 세상의 사진을 제공하였지만 전자 현미경들과 x-선 측정장치들은 더 나아가서 나노 형상 또는 원자격자 크기에 대한 사진 및 정보를 제공함으로써 현대 과학 및 산업 발전에 커다란 공헌을 하였다. 그러나 이러한 현미경 사진들은 일반적으로 2차원적 형상에 대한 정량적 정보를 제공할 수 있을 뿐, 향후 반도체 산업체에서 필요한 3차원 나노 형상에 대한 정량적 정보를 빠르고 비파괴적인 방법으로 제공할 수 없는 단점이 있다. 예를 들면 갤럭시 S6의 AP(application processor)인 14 nm 선폭의 FinFET은 기존 2차원 제공공정과는 다르게 3차원 나노 구조로 만들어졌기 때문에 3차원 나노 형상에 대한 비파괴적 고속 측정기술이 절실히 요구되고 있다. 이러한 문제를 해결할 수 있는 유력한 측정기술들 중에 하나가 optical critical dimension(OCD) 측정기술이다. 국내 한 반도체 회사에서만 이미 수백 대의 OCD 측정장치를 설치 운용하고 있으며 향후 그 수요는 점점 더 증대될 것으로 전망되고 있다. 본 강의에서는 빛의 편광특성을 이용하여 3차원 나노 형상을 빠르고 정밀하게 측정할 수 있는 첨단 측정기술에 대한 기본 원리와 그 응용기술에 대한 간략한 소개를 하고자 한다.